用于C4F6・C5F8・COS的檢測器 TP-70DGⅡ
特征：
-
通過采用含有催化劑的熱分解器，實現減少幹擾帶來的影響
單觸式的傳感器更換方式
搭載新型智能化傳感器
采用易于觀察的大型字符LCD
搭載流量自動調整功能
用途：
-
用于檢測半導體工廠內的C4F6/C5F8/COS
用于對儲氣瓶存放櫃及半導體制造裝置進行檢測
用于無塵室內的環境監測
|
现有產品類別 |
固定式 |
|
類型 |
智能型檢測部 |
|
檢測對象氣體 |
C4F6/C5F8/COS |
|
檢測原理 |
催化＋定電位電解式 |
|
檢測範圍 |
0～5ppm（C4F6・C5F8） |
|
報警設定值 |
1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6・C5F8） |
|
檢測方式 |
泵吸式 |
|
報警種類 |
氣體報警/故障報警 |
|
報警內容 |
1st：ALM1指示燈閃烁、或亮燈(紅色) |
|
電源 |
AC100～240V±10% |
|
外形尺寸・重量 |
約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
|
使用時的溫濕度範圍 |
20～40℃（無驟變） |